电子器件半导体芯片酸碱性废气处理方式，强烈推荐应用喷淋塔。这是由于半导体制造中造成的酸性和偏碱废气选用各自搜集、各自解决的方式，但处理设备和解决基本原理基本一致。

针对带有酸性／碱性物质的废气，大多数选用大中型清洗式中间废气处理系统软件开展解决。可是，一些状况下，因为半导体制造工作中地区离中间废气处理系统软件间距较远，因而一部分酸性／偏碱废气在运输至中间废气处理系统软件前，常因汽体特点造成 在管道中结晶体或烟尘沉积，导致管道阻塞后造成 汽体泄露，情况严重乃至引起发生爆炸，伤害当场工作员的工作中安全性。

因而，在工作中地区需配备合适工艺汽体特点的就地废气处理机器设备开展就地解决，以后再排进中央处理器系统软件，而一些独特的废气，包含有毒、起火、易燃易爆等废气则必须先根据干试净化塔等机器设备根据吸咐或空气氧化／点燃等方式就地解决，以后再排人中间废气处理系统软件。

1、酸碱性废气的来源于

电子器件半导体芯片中酸碱性废气的来源于为化学水处理站，具备刺激及危害身体，故酸碱性废气的解决方式一般是以湿试净化塔做污水处理后再排进空气。净化塔运用板式床或潮湿的表层能够 除去0.1微米之上的颗粒。其汽体与液體的触碰方法有交叉式（竖直交叉式）流式的、同方向流式的及反向流式的三种，而流水的设计方案上，有喷嘴式，喷雾，颈式及拉西环式等四种。

电子器件半导体芯片酸碱性废气处理方式，强烈推荐应用喷淋塔。

2、下列半导体企业加工过程中造成的废气均可解决：

Ø集成电路芯片制造业企业：关键包含数据电路板及仿真模拟电路板制造业企业。

Ø分立器件制造业企业：关键包含晶体二极管、三极管，整流二极管，输出功率二极管、化学物质二极管等生产加工公司。

Ø光学部件制造业企业：包含LED、OLED、LCD、太阳能光伏等的生产加工公司。

因为半导体材料加工工艺对操作间洁净度规定极高，一般应用离心风机提取加工工艺全过程中蒸发的各种废气，因而半导体芯片废气排污具备排量大、排污浓度值小的特性。废气排污也以蒸发主导。

与半导体制造加工工艺对比，半导体封装加工工艺造成的废气比较简单，主要是酸性汽体、环氧树脂胶及烟尘。酸性废气关键造成于电镀工艺等加工工艺；烤制废气则造成于晶体黏贴、上胶后烤制全过程；划片机在芯片激光切割全过程中，造成含少量矽尘的废气。